КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ ZT
ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ
Блок ZT представляет собой модуль, объединяющий две степени свободы, в Z и Theta, в пределах одного блока. Возможны два действия вдоль направления Z, грубый и тонкий. Этот модуль может использоваться в автономном режиме или установлен на платформе XY. Этот модуль особенно хорошо подходит для приложений управления технологическими процессами, таких как тонкопленочная метрология, критические размеры и т. Д.
Характеристики
-
Бесконечное вращение
-
Встроенное вакуумное питание на уровне патронного патрона
-
Встроенный компенсатор силы тяжести
-
Чистая комната ISO1 благодаря вакуумному отсосу
-
Грубая ось Z с шагом 12 мм для загрузки / разгрузки пластины и тонкой Z с шагом 4 мм для регулировки фокусировки
-
Версия без грубого Z может быть выполнена
-
Очень хороший Z-джиттер, а также перемещение и установка
Основные технические характеристики
Описание Fine Z Coarse Z Theta
Диапазон путешествий 4 мм 12 мм бесконечный
Максимальная скорость 0,1 м / с 0,02 м / с 15,7 рад / с
Максимальное ускорение 2 м /с² 0,1 м / с² 104,7 рад / с²
Стабильность положения ± 5 нм - ± 0,2 arcsec
Точность положения ± 0,6 мкм - ± 3 arcsec
Двунаправленная повторяемость ± 0,3 мкм - ± 2 arcsec
Максимальная полезная нагрузка 1 кг
Описание Техническая спецификация Интерфейсный чертеж 3D-модель
ZT КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ
