КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ ZT

ASME-NNNN-03-0012-0004xx-ZT КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ

Блок ZT представляет собой модуль, объединяющий две степени свободы, в Z и Theta, в пределах одного блока. Возможны два действия вдоль направления Z, грубый и тонкий. Этот модуль может использоваться в автономном режиме или установлен на платформе XY. Этот модуль особенно хорошо подходит для приложений управления технологическими процессами, таких как тонкопленочная метрология, критические размеры и т. Д.

Характеристики

  • Бесконечное вращение

  • Встроенное вакуумное питание на уровне патронного патрона

  • Встроенный компенсатор силы тяжести

  • Чистая комната ISO1 благодаря вакуумному отсосу

  • Грубая ось Z с шагом 12 мм для загрузки / разгрузки пластины и тонкой Z с шагом 4 мм для регулировки фокусировки

  • Версия без грубого Z может быть выполнена

  • Очень хороший Z-джиттер, а также перемещение и установка

 

Основные технические характеристики

Описание                                                         Fine Z                                         Coarse Z                                   Theta

Диапазон путешествий                       4 мм                                          12 мм                  бесконечный

Максимальная скорость                   0,1 м / с                                     0,02 м / с                15,7 рад / с

Максимальное ускорение                  2 м /с²                                      0,1 м / с²                104,7 рад / с²

Стабильность положения                  ± 5 нм                                             -                       ± 0,2 arcsec

Точность положения                         ± 0,6 мкм                                          -                         ± 3 arcsec

Двунаправленная повторяемость    ± 0,3 мкм                                         -                         ± 2 arcsec

Максимальная полезная нагрузка                                                         1 кг

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

ZT КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA