ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ

​

​

Модуль Z3TH в первую очередь предназначен для приложений типа front-end и обеспечивает правильное решение для работы с любыми приложениями, требующими:

​

• Выравнивание между инструментом процесса и подложкой

• Отображение плоскостности

• Перемещение и обновление

Первые приложения относятся к фоновому литографированию и управлению технологическим процессом.

​

Характеристики

​

• 364 ° Вращение тета

• Коррекция наклона и наклона по ± 0,1 ° для выравнивания и для улучшения положения

• Подача вакуума на уровень патрона

• Интеграция Double Z: грубое перемещение для погрузки / разгрузки и точное перемещение для регулировки фокусировки

• Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 1

• Низкое радиальное осевое и радиальное биение ± 1 мкм

Для получения дополнительной

информации обратитесь к соответствующему руководству по интеграции .

​

Основные технические характеристики

Комбинированный модуль Z3T H увеличивает объем модулей, которые могут размещаться поверх существующих XY-платформ. Модуль Z3T H , 4 степени свободы обеспечивает 364 ° поворот Theta, двойные Z-оси, грубый для загрузки и разгрузки пластины, а также тонкий для регулировки фокусировки, а также коррекцию наклона и наклона по ± 0,1 ° , Этот модуль Z3T H является прекрасной альтернативой пьезоприводам Z, устраняющим гистерезис и нелинейность в разомкнутом контуре, в то же время обеспечивая лучшую ошибку отслеживания при движении, повторяемости и перемещении и настройке производительности, но при гораздо более длительных перемещениях.

Описание                                                         Fine Z               Наклон                  Coarse Z                                   Theta

Диапазон путешествий                       ± 2 мм               ± 0,1 °                   16 мм                              364 °

Максимальная скорость                         -                        -                            -                             10 рад / с

Максимальное ускорение                      -                         -                            -                           55 рад / с²

Стабильность положения                  ± 1,9 нм            ± 0,0043 arcsec         -                  ± 0,0038 arcsec

Двунаправленная повторяемость   ± 0,010 мкм             -                            -                      ± 0,35 arcsec

Время перемещения и установки          45 мс                  -                          -                                    -

Переместить и установить время                                                                                                  525 мс

Максимальная полезная нагрузка                                                                2кг

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

Z3TH КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ