
КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ Z3TH
ASME-NNNN-06-0015-0004xx-Z3TH КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ
Модуль Z3TH в первую очередь предназначен для приложений типа front-end и обеспечивает правильное решение для работы с любыми приложениями, требующими:
-
Выравнивание между инструментом процесса и подложкой
-
Отображение плоскостности
-
Перемещение и обновление
Первые приложения относятся к фоновому литографированию и управлению технологическим процессом.
Характеристики
-
364 ° Вращение тета
-
Коррекция наклона и наклона по ± 0,1 ° для выравнивания и для улучшения положения
-
Подача вакуума на уровень патрона
-
Интеграция Double Z: грубое перемещение для погрузки / разгрузки и точное перемещение для регулировки фокусировки
-
Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 1
-
Низкое радиальное осевое и радиальное биение ± 1 мкм
Для получения дополнительной
информации обратитесь к соответствующему руководству по интеграции .
Основные технические характеристики

Комбинированный модуль Z3T H увеличивает объем модулей, которые могут размещаться поверх существующих XY-платформ. Модуль Z3T H , 4 степени свободы обеспечивает 364 ° поворот Theta, двойные Z-оси, грубый для загрузки и разгрузки пластины, а также тонкий для регулировки фокусировки, а также коррекцию наклона и наклона по ± 0,1 ° , Этот модуль Z3T H является прекрасной альтернативой пьезоприводам Z, устраняющим гистерезис и нелинейность в разомкнутом контуре, в то же время обеспечивая лучшую ошибку отслеживания при движении, повторяемости и перемещении и настройке производительности, но при гораздо более длительных перемещениях.
Описание Fine Z Наклон Coarse Z Theta
Диапазон путешествий ± 2 мм ± 0,1 ° 16 мм 364 °
Максимальная скорость - - - 10 рад / с
Максимальное ускорение - - - 55 рад / с²
Стабильность положения ± 1,9 нм ± 0,0043 arcsec - ± 0,0038 arcsec
Двунаправленная повторяемость ± 0,010 мкм - - ± 0,35 arcsec
Время перемещения и установки 45 мс - - -
Переместить и установить время 525 мс
Максимальная полезная нагрузка 2кг
Описание Техническая спецификация Интерфейсный чертеж 3D-модель
Z3TH КОМБИНИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ