УКЛАДЫВАЕМЫЕ ПЛАТФОРМЫ VULKANO

Система VULCANO XY представляет собой трехкомпонентный дизайн, позволяющий использовать компактное и экономичное решение, связанное с механическими подшипниками и высококачественными оптическими кодами.

Базовая плита нижних осей (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей Ironcore, управляемых в режиме козловой системы, при использовании с контроллерами AccurET, чтобы обеспечить лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с линейным двигателем. Использование технологии ironcore обеспечивает высокую плотность мощности, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на довольно низком уровне.

Базовая плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижних осей (Y1 и Y2), выполнена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение - это рукоятка изгибающих элементов.

На нижней пластине имеется 3 линейных направляющих. Две внешние линейные направляющие, лежащие на нижней пластине VULCANO являются шариковыми подшипниками в то время как внутренний один (расположенный в центре опорной плиты) состоит из циркулирующей роликового подшипника. Развязка между тремя направляющими осуществляется через изгибные элементы. Некоторые из этих элементов, прикрепленных к несущим блокам внешних направляющих, позволяют перемещать в направлении X. 

Некоторые другие, прикрепленные к центральной рейке, допускают вращение вокруг вертикального направления. Верхняя ось (X) объединяет 2 линейных подшипника. Развязка производится с помощью другого набора изгибных элементов, позволяющих осуществлять трансляцию в направлении Y для одного из рельсов.

Платформа VULCANO XYT состоит из стандартного VULCANO XY, оснащенного  ротационным модулем RTTB, который включает в себя датчик высокого разрешения, соединенный с выдающимся механическим подшипником.

VULCANO XYZ3T Н  Платформа состоит из стандартного VULCANO XY снабжен оборудованием с  Z3T H комбинированного модуля . Этот модуль с 4 степенями свободы обеспечивает 364 ° поворот Theta, двойные Z-оси, встроенный компенсатор силы тяжести, встроенный вакуумный источник питания на уровне патрона, грубый для загрузки и разгрузки пластины, а также тонкий для регулировки фокусировки как коррекция наконечника и наклона над ± 0,1 °. 

Описание                                                        X (внизу)                              Y (верхний)                                   Theta

Диапазон путешествий                           490 мм                             420 мм                                   367 °

Максимальная скорость                       1,5 м / с                             1,5 м / с                            6.28 рад / с

Максимальное ускорение                        25м /с²                            25 м / с²                           169 рад / с²

Стабильность положения                         ± 0,6 нм                          ± 0,7 нм                    ± 0,0025 arcsec

Двунаправленная повторяемость                                                   ± 0,35 мкм                      ± 0,010 мкм

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

VULCANO XY 0365 x 0355

Использование этой платформы подходит, но не ограничивается:

  • Приложения для управления технологическими процессами, такие как Метрология перекрытия, Критическое измерение и Метрология тонкой пленки

  • Back-end: специфические флип-чип-процессы, выполненные на больших панелях / подложках

 

Характеристики

  • Компактная конструкция

  • Стабильность положения нанометрометра

  • Короткое перемещение и расчетное время

  • Высокая динамика

  • Высокая двунаправленная повторяемость

  • Высокая стабильность положения

  • Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 1

 

Для  получения дополнительной

информации обратитесь к соответствующему  руководству по интеграции .

 

 

Основные технические характеристики

 

Время перемещения и установки                                                      140 мс                              140 мс

Максимальная полезная нагрузка                                                        2 кг                 

VULCANO XY 0490 x 0420

VULCANO XY 0365 x 0355

VULCANO XYT 0490 x 0420

VULCANO XYZ3TH 0365 x 0355

VULCANO XYZ3TH 0490 x 0420

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA