АКТИВНАЯ СИСТЕМА ИЗОЛЯЦИИ

Новое решение для виброизоляции

 

Активная система изоляции QuiET - это новый модуль, отменяющий как порожденные сценой, так и земные вибрации вдоль 6 градусов свободы (6 DOF), что препятствует их нарушению процесса, происходящего на платформе движения.

Система активной изоляции QuiET

В большинстве случаев высокопроизводительные приложения в полупроводниковой промышленности объединяют сложную установку оборудования, которая так или иначе связана с гранитом платформы движения. Таким образом, любая вибрация на гранитном уровне приводит к неточностям и более длительному времени осаждения на уровне инструментального инструмента. Благодаря решению ETEL, избавление от этих вибраций никогда не делалось так эффективно!

Выдвижение движения на следующий уровень!

Серия QuiET продвигает еще одну стратегию интеграции ETEL в будущее. Отныне продвинутая платформа движения от ETEL не только включает в себя усовершенствованную систему движения и связанные с ней современные контроллеры движения, но также может извлечь выгоду из запатентованного активного модуля изоляции ETEL. Это делает ETEL единственным поставщиком систем движения, способным охватить такой широкий спектр поставок!

Благодаря запатентованному малошумящему сенсору и однородной, полностью цифровой и детерминированной архитектуре управления движением, основанной на 1 Gb TransnET, ETEL сокращает время перемещения и расчета до беспрецедентных значений. При повышении точности ускорения, достигающем более 99%, менее 1% энергии, создаваемой движением на стадии движения, остается на гранитном уровне! Таким образом, масса гранита в активной системе изоляции может быть небольшой, что, в свою очередь, уменьшает общую недвижимость и массу, в то время как инструменты обработки непосредственно извлекают выгоду из более спокойной окружающей среды.

Кривая пропускаемости QuiET

Интеграция

Расширенная архитектура системы движения

Модульная, масштабируемая и исправная

Серия QuiET разработана с высокой степенью модульности и масштабируемостью. Благодаря списку предварительно выбранных активных и пассивных компонентов, ETEL может очень быстро найти оптимизированное решение, соответствующее вашим потребностям! Элементы пружины, приводы Lorentz и проприетарные датчики встроены в архитектуру сэндвич-панели, которая затем настраивается для выполнения любых системных требований и упрощает обслуживание в полевых условиях. Контроллеры модуля QuiET и платформы движения являются стандартными контроллерами AccurET и могут быть расположены в одной стойке или электрическом шкафу.

Инструмент ввода в эксплуатацию

Доступен удобный графический интерфейс. Он совместим с любой конфигурацией сцены и включает:

  • Автоматическая настройка параметров прямого доступа

  • Идентификация системы

  • Встроенные возможности выравнивания

Планетарная платформа XYZT

Инструмент ввода в эксплуатацию QuiET

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA