ПЛАТФОРМА METIS PLANAR

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

 

Эта платформа, METIS, представляет собой гибридную плоскую механическую / пневматическую платформу, предназначенную для ступенчатых и сканирующих приложений. Это платформа с шестью осями, движущаяся по направлениям X, Y, Z и Theta. Основными параметрами являются динамическая плоскостность при полном перемещении, а также двунаправленная повторяемость. Эта платформа в настоящее время используется в:

  • Применения для обработки вафельных процессов, такие как критическое измерение и тонкая пленочная метрология.

  • Вафельный скрайбер

  • Тепловой отжиг лазеров

 


Его также можно использовать в машинах литографии Back End Of Line (выравниватели масок) и в некоторых приложениях для нанесения покрытий на пластины.

Эта платформа поддерживает:

  • Плоскость движения, определяемая воздушным подшипником

  • Неограниченное вращение в Тета

  • Интеграция Double Z: грубое перемещение для погрузки / разгрузки и точное перемещение для регулировки фокусировки

  • Компенсатор силы тяжести в Z (заявка на патент)

  • Коррекция торможения может быть выполнена путем легкого смещения двигателей Y1 и Y2

  • Может быть дополнительно интегрирована с активной системой изоляции, полностью контролируемой ETEL

  • Путешествия в X и Y могут быть увеличены с некоторыми ограничениями производительности

Основные технические характеристики

Описание                                                          Y1, Y2                Икс               Fine Z            Coarse Z                       Theta

Диапазон путешествий                        320 мм          320 мм          4 мм           12 мм        бесконечный 

Максимальная скорость                     1,2 м / с          1,2 м / с         0,1 м / с      0,02 м / с     15,7 рад / с

Максимальное ускорение                    12м /с²            12 м / с²       2 м / с²      1 м / с²           169 рад / с²

Стабильность положения                  ± 25 нм              ± 25 нм        ± 15 нм           -              ± 0,2 arcsec

Двунаправленная повторяемость     ± 0,4 мкм           ± 0,4 мкм     ± 0,3 мкм        -                 ± 2 arcsec

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

METIS

Максимальная полезная нагрузка                                                     1 кг

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA