ОСЬ ВРАЩЕНИЯ DXR+

ASME-DXR + TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

DXR + - это ротационный модуль ETEL с компактной конструкцией, легкой массой, большим полым валом и обеспечивающим правильное соотношение цены и качества для средних приложений в полупроводниках и электронике.

DXR + обеспечивает значительные улучшения в плане жесткости, что напрямую влияет на пропускную способность управления на этапе XY, который поддерживает его. Модуль DXR +может работать от напряжения 48 В постоянного тока до 300 В постоянного тока. Он может управляться модулем 48 или 300 AccurET или AccurET VHP для обеспечения более высоких требований к стабильности положения.

 

Как и для любых других стандартных модулей от ETEL (ZT, Z3T H , RTTB), DXR +  может быть установлен на любых стандартных платформах XY. DXR + является модулем степени свободы, позволяющим неограниченное угловое перемещение. Тем не менее, как вариант, путешествие может быть ограничено угловыми сегментами, кратными около 60 °. Уровень чистоты DXR + варьируется от ISO 5 до ISO 1 при определенных условиях.

Модуль DXR +  обеспечивает правильное решение для работы с любыми приложениями, требующими:

  • Гладкость движения

  • Средние требования к точности (обычно около 5 мкм)

  • Стабильность положения в диапазоне 100 нм с радиусом 150 мм

 

Использование этого модуля подходит, но не ограничивается:

  • управление технологическим процессом, обработка пластины

  • пластинчатый скрайбер

  • лазерный отжиг

  • производство солнечных батарей

  • и т.д

Характеристики

  • Диаметр: 155 мм

  • Бесшумная моторная технология (нулевая зубчатая передача) для обеспечения высокой скорости

  • Низкий профиль / низкая масса для высокоточных применений

  • Высокоточный бесконтактный оптический кодер

  • Неограниченные возможности по угловому путешествию

  • Большой полый вал: 44 мм

  • Вакуумное питание на уровне патрона

  • Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 5; возможно достичь уровня ISO 1

 

Основные технические характеристики

  • Двунаправленная повторяемость ± 2 arcsec при ± 3sigma

  • Точность позиционирования 
    - до ± 30 аркс. (Без калибровки) 
    - до ± 3 угловых часов после калибровки

  • Скорость до 400 об / мин

  • Стабильность положения ± 0,2 arcsec

  • Возможности высокоскоростной стабилизации

 

Для получения дополнительной информации 

обратитесь к соответствующему руководству по интеграции .

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

DXL-BS155

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA