ASME-DXR + TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

DXR + - это ротационный модуль ETEL с компактной конструкцией, легкой массой, большим полым валом и обеспечивающим правильное соотношение цены и качества для средних приложений в полупроводниках и электронике.

DXR + обеспечивает значительные улучшения в плане жесткости, что напрямую влияет на пропускную способность управления на этапе XY, который поддерживает его. Модуль DXR +может работать от напряжения 48 В постоянного тока до 300 В постоянного тока. Он может управляться модулем 48 или 300 AccurET или AccurET VHP для обеспечения более высоких требований к стабильности положения.

Как и для любых других стандартных модулей от ETEL (ZT, Z3T H , RTTB), DXR +  может быть установлен на любых стандартных платформах XY. DXR + является модулем степени свободы, позволяющим неограниченное угловое перемещение. Тем не менее, как вариант, путешествие может быть ограничено угловыми сегментами, кратными около 60 °. Уровень чистоты DXR + варьируется от ISO 5 до ISO 1 при определенных условиях.

Модуль DXR +  обеспечивает правильное решение для работы с любыми приложениями, требующими:

​

• Гладкость движения

• Средние требования к точности (обычно около 5 мкм)

• Стабильность положения в диапазоне 100 нм с радиусом 150 мм

​

Использование этого модуля подходит, но не ограничивается:

​

• управление технологическим процессом, обработка пластины

• пластинчатый скрайбер

• лазерный отжиг

• производство солнечных батарей

• и т.д

Характеристики

​

• Диаметр: 155 мм

• Бесшумная моторная технология (нулевая зубчатая передача) для обеспечения высокой скорости

• Низкий профиль / низкая масса для высокоточных применений

• Высокоточный бесконтактный оптический кодер

• Неограниченные возможности по угловому путешествию

• Большой полый вал: 44 мм

• Вакуумное питание на уровне патрона

• Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 5; возможно достичь уровня ISO 1

Основные технические характеристики

​

• Двунаправленная повторяемость ± 2 arcsec при ± 3sigma

• Точность позиционирования 
  - до ± 30 аркс. (Без калибровки) 
  - до ± 3 угловых часов после калибровки

• Скорость до 400 об / мин

• Стабильность положения ± 0,2 arcsec

• Возможности высокоскоростной стабилизации

Для получения дополнительной информации 

обратитесь к соответствующему руководству по интеграции .

DXL-BS155