
ОСЬ ВРАЩЕНИЯ DXR+
ASME-DXR + TO1550303NAS0000-T STANDALONE AXIS

DXR + - это ротационный модуль ETEL с компактной конструкцией, легкой массой, большим полым валом и обеспечивающим правильное соотношение цены и качества для средних приложений в полупроводниках и электронике.
DXR + обеспечивает значительные улучшения в плане жесткости, что напрямую влияет на пропускную способность управления на этапе XY, который поддерживает его. Модуль DXR +может работать от напряжения 48 В постоянного тока до 300 В постоянного тока. Он может управляться модулем 48 или 300 AccurET или AccurET VHP для обеспечения более высоких требований к стабильности положения.
Как и для любых других стандартных модулей от ETEL (ZT, Z3T H , RTTB), DXR + может быть установлен на любых стандартных платформах XY. DXR + является модулем степени свободы, позволяющим неограниченное угловое перемещение. Тем не менее, как вариант, путешествие может быть ограничено угловыми сегментами, кратными около 60 °. Уровень чистоты DXR + варьируется от ISO 5 до ISO 1 при определенных условиях.
Модуль DXR + обеспечивает правильное решение для работы с любыми приложениями, требующими:
-
Гладкость движения
-
Средние требования к точности (обычно около 5 мкм)
-
Стабильность положения в диапазоне 100 нм с радиусом 150 мм

Использование этого модуля подходит, но не ограничивается:
-
управление технологическим процессом, обработка пластины
-
пластинчатый скрайбер
-
лазерный отжиг
-
производство солнечных батарей
-
и т.д
Характеристики
-
Диаметр: 155 мм
-
Бесшумная моторная технология (нулевая зубчатая передача) для обеспечения высокой скорости
-
Низкий профиль / низкая масса для высокоточных применений
-
Высокоточный бесконтактный оптический кодер
-
Неограниченные возможности по угловому путешествию
-
Большой полый вал: 44 мм
-
Вакуумное питание на уровне патрона
-
Совместимость с чистыми помещениями класса ISO 5; возможно достичь уровня ISO 1
Основные технические характеристики
-
Двунаправленная повторяемость ± 2 arcsec при ± 3sigma
-
Точность позиционирования
- до ± 30 аркс. (Без калибровки)
- до ± 3 угловых часов после калибровки -
Скорость до 400 об / мин
-
Стабильность положения ± 0,2 arcsec
-
Возможности высокоскоростной стабилизации
Для получения дополнительной информации
обратитесь к соответствующему руководству по интеграции .
Описание Техническая спецификация Интерфейсный чертеж 3D-модель
DXL-BS155