ОПРЕДЕЛЕНИЯ СИСТЕМЫ ДВИЖЕНИЯ
Ошибка Abbé
Ошибка Abbé представляет собой ошибку линейного позиционирования, вызванную комбинацией угловой ошибки в направлениях подшипника (способ движения) и смещением между измерительным устройством (свинцовым винтом, датчиком и т. Д.)
И фактической точкой интереса.
φ = hx tanθ,
h - расстояние между датчиком и точкой инструмента.
Чтобы минимизировать ошибку Abbé, расстояние h должно быть как можно короче.
Люфт
Зазор - это ошибка в позиционировании, вызванная изменением направления движения.
Это вызвано зазором между элементами механической системы. Зазор также влияет на двунаправленную повторяемость. Зазор может быть компенсирован контроллером положения.
Коэффициент трения
Коэффициент трения - это отношение силы, необходимой для перемещения нагрузки на величину этой нагрузки. Существуют два коэффициента: статический и динамический (статический коэффициент> динамический коэффициент).
Ровность
Плоскостность - это вертикальное отклонение от плоскости движения.
Горизонтальная прямолинейность
Горизонтальная прямолинейность представляет собой горизонтальное отклонение от прямой линии движения. Отклонение горизонтальной прямолинейности при перемещении оси X приведет к ошибке позиционирования в направлении Y.
Точность
Точность - это разница между фактическим положением механической системы и ожидаемым положением. Он обычно указывается в микронах или дугах на заданное перемещение для отклонения ± 3sigma. Например, точность ± 3μm (± 20arcsec), при ± 3sigma, на расстояние 300 мм (300 °) означает, что если ось перемещается в положение на 300 мм (300 °) от текущего положения, конечная позиция заканчивается между 299.997 (300.0056 град.) и 300.003 (299.9944 град.), 99.7% времени. На точность влияет система обратной связи (энкодер, лазерный интерферометр ...), приводной механизм и тип подшипника.
Осевое биение
Осевое биение представляет собой ошибку позиционирования верхней части вращающегося стола в вертикальном направлении, когда стол вращается в горизонтальной плоскости.
Рабочий цикл
Для повторяющегося цикла рабочий цикл представляет собой отношение времени «включено»
к общему времени цикла. Duty Cycle = (по времени / (время + время выключения)) x 100%.
Ошибка гистерезиса
Ошибка гистерезиса представляет собой отклонение между фактическим и командным положением, вызванным упругими силами, накопленными в системе движения. Это влияет на точность и двунаправленную повторяемость.
Ортогональность
Ортогональность - это степень перпендикулярности между линией перемещения двух сложенных осей. Если две линии движения не ортогональны, перемещение по оси Y создает ошибку позиционирования в направлении X (для таблицы XY).
Подача
Шаг представляет собой поворот (угловое отклонение от идеальной прямой линии движения) вокруг оси в горизонтальной плоскости (для примера, упомянутого ниже), перпендикулярного направлению движения. Для перемещения по оси X шаг может вызвать ошибку Abbé в направлениях X и Z.
Радиальное биение
Радиальное биение представляет собой ошибку позиционирования центрирующего диаметра поворотного стола в горизонтальном направлении, когда стол вращается в горизонтальной плоскости.
Cтабильность
Повторяемость - это способность системы движения надежно достигать заданного положения по многим попыткам при одинаковых условиях. Однонаправленная повторяемость - это способность повторять движение только в одном направлении (и игнорирует эффекты зазора или гистерезиса в системе). Двунаправленная повторяемость - это способность повторять движение с обоих направлений. По умолчанию измерение повторяемости производится с помощью разгруженной системы.
Разрешение
Разрешение - это наименьшее возможное движение, которое может быть достигнуто системой. Его можно определить на уровне электроники, кодировщика и механики.
Рулон
Рулон представляет собой поворот (угловое отклонение от идеальной прямой линии движения) вокруг оси в горизонтальной плоскости (для примера, упомянутого ниже), параллельного направлению движения. Для перемещения по оси X рулон вызовет ошибку Аббе в направлениях Y и Z.
Сигма
Сигма (ы) - стандартное отклонение. Это указывает, насколько данный процесс отклоняется от номинального значения, чем ниже, тем лучше. Для нормально распределенного движения, которое часто принимается для значений положения, результат 3s = 0,1 мкм (= 2arcsec) гарантирует, что 99,7% измерения будет находиться между ± 0,1 мкм (2 с = 0,1 мкм, что составляет 95,4% между ± 0,1 мкм , s = 0.1micron приводит к 68,3% между ± 0,1 мкм) или ± 2arcsec (2s = 2arcsec приводит к 95,4% между ± 2arcsec, s = 2arcsec приводит к 68,3% между ± 2arcsec).
Тепловое расширение
Тепловое расширение представляет собой изменение размера и формы системы при изменении температуры. Величина изменения зависит от размера компонента, степени изменения температуры и характеристик материала.
Вертикальная прямолинейность
Вертикальная прямолинейность представляет собой вертикальное отклонение от прямой линии движения. Отклонение вертикальной прямоты в движении оси X приведет к ошибке позиционирования в направлении Z.
Качаться
Колебание представляет собой угловую ошибку между перпендикуляром к пластине интерфейса и фактической осью вращения, когда корректируются углы бета (б) и гамма (г).
(a): угол с крепежными поверхностями
(b): угол между фактической осью вращения и основанием поворотного стола
(g): угол между перпендикуляром к пластине интерфейса и фактической осью вращения
Рыскание
Рычаг представляет собой поворот (угловое отклонение от идеальной прямой линии движения) вокруг оси в вертикальной плоскости (для примера, упомянутого ниже), перпендикулярного направлению движения. Для перемещения по оси X рыскание вызовет ошибку Abbé в направлениях X и Y.