СЛОЖНАЯ СИСТЕМА CHARON

ASME-NNNN-03-0365-0355xx-XYT STACKED SYSTEM

 

Система XYT с укладкой, CHARON, представляет собой трехосевую систему движений, состоящую из перемещений, совместимых с пластинами толщиной 300 мм и объединяющих вращающуюся ось сверхвысокого разрешения RTTB. Он может быть продан как автономная система, а также дополнительно интегрирован на гранитную основу и активную систему изоляции. Эта система обычно используется для управления технологическими процессами в приложениях, таких как Overlay, критический размер и тонкопленочная метрология. Он также может использоваться во всех приложениях, требующих повторяемости в диапазоне микрометров и / или стабильности положения в диапазоне нанометров.

 

Характеристики

  • Совместимость с ISO 2

  • Оборудована осью вращения с высоким разрешением

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Основные технические характеристики

CHARON

Описание                                                        X (внизу)                              Y (верхний)                                   Theta

Диапазон путешествий                           365 мм                             355 мм                                   367 °

Максимальная скорость                          0,6 м / с                          0,6 м / с                           60 об / мин

Максимальное ускорение                        6 м /с²                            6 м / с²                             169 рад / с²

Стабильность положения                      ± 2,5 нм                         ± 2,5 нм         ± 1,9 нм при R = 150 мм

Точность положения                         ± 16 мкм                               ± 16 мкм                              ± 3 arcsec

Двунаправленная повторяемость    ± 0,5 мкм                             ± 0,5 мкм                          ± 0,3 arcsec

Максимальная полезная нагрузка                                                    2,5 кг

Описание                         Техническая спецификация                Интерфейсный чертеж         3D-модель

© 2005-2018 OOO"PRONATOR.                 ООО «Пронатор» 194044, Санкт-Петербург, Б. Сампсониевский пр., д. 32. info@pronator.ru                        © ETEL SA